问答题
简答题
简述正性光刻和负性光刻的概念？优缺点？
【参考答案】
•正性光刻是把与掩膜版上相同的图形复制到晶圆上。
•负性光刻是把与掩膜版上图形相反的图形复......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
-
问答题
光刻过程需要哪八大步骤？每个步骤的作用？ -
问答题
简述光刻的主要参数 -
问答题
简述光刻的目的？
