填空题
制取高纯多晶一般采用化学方法对工业硅提纯，工业上用化学方法制取高纯硅有三种方法：（）、（）、（）。
【参考答案】
四氯化硅氢还原法；三氯氢硅氢还原法；硅烷热分热法
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