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直拉单晶硅工艺学
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填空题
按照生长界面处的温度梯度，一般采用（）的界面生长单晶时，有助于改善单晶的性能。
【参考答案】
平的或微凹
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填空题
一般说来，掺杂量大的单晶比掺杂量较少的单晶需要的温度梯度（）。
填空题
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填空题
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