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直拉单晶硅工艺学
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填空题
在控制单晶生长体系,界面未受任何干扰的情况下,界面()运动。
【参考答案】
恒等速
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填空题
晶体生长过程中,移动的生长界面将不可避免地出现干扰,()理论把微干扰在生长界面重迭行为考虑在内,界面出现任何周期干扰都可以用正弦函数的富氏级数表示。
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