问答题
简答题
化学气相淀积（CVD）的概念，有哪五种基本化学反应？
【参考答案】
（1）高温分解：通常在无氧的条件下，通过加热化合物分解
（2）光分解：利用辐射使化合物的化学键断裂分解
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