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判断题
P1848设备TEOS水浴加热后通过He携带进入腔体与O2气发生反应生成SiO2。（） -
判断题
溅射淀积工艺的金属台阶覆盖要比蒸发淀积的台阶覆盖更好。（） -
单项选择题
液态TEOS源是采用载流气体鼓泡方式携带，例如N2、O2、He，而P1102.TEOS工艺是采用（）进入反应炉。
A.N2
B.O2
C.He
D.水浴饱和蒸汽
