相关考题
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单项选择题
刻蚀机的故障诊断方法包括（）。
A.传感器监测
B.数据分析
C.人工检查
D.以上都是 -
单项选择题
减少刻蚀过程中的损伤可以采用（）。
A.低温刻蚀
B.分步刻蚀
C.优化刻蚀气体
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀过程中的横向刻蚀主要影响（）。
A.图形精度
B.刻蚀速率
C.刻蚀选择性
D.刻蚀均匀性
