填空题
为了降低注入离子对衬底由于热沉积产生的温升，在高剂量、大束流离子注入时，可以采用（）扫描方式，在低剂量、小束流时一般用（）方式注入。
【参考答案】
混合；全电扫描
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填空题
混合；全电扫描
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