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多项选择题
根据晶体缺陷在空间延伸的线度，晶体缺陷可分为（）
A.点缺陷
B.面缺陷
C.体缺陷
D.线缺陷 -
多项选择题
各种化学气相沉积包括（）
A.快速加热化学气相沉积
B.催化化学气相沉积法
C.热丝化学气相沉积
D.等离子增强化学气相沉积 -
单项选择题
弗仑克尔缺陷的特点有（）
A.空位和填隙原子数目相等
B.一定的温度下，晶体内部的空位和表面上的原子处于平衡
C.空位和填隙原子成对地产生
D.一定的温度下，缺陷的产生和复合过程达到平衡
