问答题
简答题
非平衡磁控溅射与平衡磁控溅射比较，在结构上有差异，在镀膜方面有什么特点？
【参考答案】
非平衡磁控溅射让磁控阴极外磁极磁通大于内磁极，两极磁力线在靶面不完全闭合，部分磁力线可沿靶的边缘延伸到基片区域，从而部分......
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