问答题
论述题
什么是溅射产额，其影响因素有哪些？简述这些因素对溅射产额产生的影响。
【参考答案】
溅射产额：影响因素：离子质量、离子能量、靶原子质量、靶的结晶性只有当入射离子的能量超过一定能量（溅射阈值）时，才能发生溅......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
