单项选择题
对于目标厚度为：280μm的晶圆，若选用BT-150E-KL和P-7181时最终厚度（FINALTHICKNESS）设置分别为（）。
A.430μm、430μm
B.430μm、460μm
C.460μm、430μm
D.440μm、460μm
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A.140
B.150
C.160
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A.暖机
B.复位
C.终止
D.开始 -
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A.暖机状态
B.初始化状态
C.初始化暖机状态
D.任何状态
