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单项选择题
刻蚀机的精度主要取决于（）。
A.刻蚀方法
B.刻蚀气体
C.设备结构
D.控制系统 -
单项选择题
湿法刻蚀通常使用的刻蚀剂是（）。
A.强酸
B.强碱
C.盐溶液
D.有机溶液 -
单项选择题
干法刻蚀中常用的刻蚀气体有（）。
A.氧气
B.氮气
C.氯气
D.氢气
