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单项选择题
刻蚀机的刻蚀精度可以通过（）。
A.提高控制系统精度
B.优化刻蚀工艺
C.选用高精度零部件
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀机的故障预警系统主要依据（）。
A.设备运行参数
B.设备使用年限
C.操作人员经验
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀机在微机电系统制造中的应用是（）。
A.制作微结构
B.沉积薄膜
C.检测微缺陷
D.封装微器件
