多项选择题
PG3000RMX减薄机清洗台检查项目方法为（）。
A.检查喷水吹气位置是否正确
B.查看吸盘表面是否干净
C.工作时观察晶圆清洗后表面有无水汽残留
D.观察吸盘安装是否到位有无松动与找边SENSOR配合位置准确
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多项选择题
离子风机点检加电状态方法为（）。
A.用手接触风机外壳感觉无抖动现象
B.目检电源线是否接插
C.检查开关打开后是否工作
D.目检出风口是否有打火等异常 -
多项选择题
空气干燥机运行检查项目方法为（）。
A.目检压力表指示值
B.目检滤芯是否需更换
C.目检压力表温度指示值
D.听干燥机有无异常声音目检有无渗漏现象 -
多项选择题
真空泵运行检查项目方法为（）。
A.目检真空表指示值
B.检查真空泵供水排水是否正常
C.听真空泵声音是否正常目检有无渗漏现象
D.排水是否堵塞
