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直拉单晶硅工艺学
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填空题
界面结构从微观结构(原子级)看,可分为()面、()面和()面与()面四种类型。
【参考答案】
完整突变光滑;非完整突变光滑;粗糙突变;扩散
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晶体生长过程实质上就是()从周围环境中不断地通过界面进入()座位的过程。
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