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单项选择题
微电子器件对加工环境的空气洁净度有着严格的要求。我国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度标准GB50073-2001中,100级的含义是:每立方米空气中大于等于0.1m的悬浮粒子的最大允许个数为()
A.35;
B.100;
C.102;
D.237。 -
判断题
侧墙用来环绕多晶硅栅,防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。 -
判断题
离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。