填空题
常见的光栅从形状上可分为()和()两大类。前者用于检测(),后者用于检测()。光栅的检测精度比较高,可达()。
【参考答案】
长光栅;圆光栅;直线位移;角位移;士lum
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填空题
长光栅;圆光栅;直线位移;角位移;士lum
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