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单项选择题
SPT Target的电源是（）
A.DC（直流）
B.AC（交流）
C.RF（射频）
D.混合电源 -
单项选择题
SPT部门RGA设备是监测什么的仪器（）
A.设备是否漏水
B.设备是否漏气
C.设备是否温度过高
D.Depo的膜是否RS良好 -
单项选择题
SPT设备内对Glass进行转载于搬送工具名称是（）
A.Shield
B.Carrier
C.Target
D.Clamp
