填空题
设备故障的检测方法包括（）和（）的故障检测、材料裂纹及缺陷损伤的故障检测、设备零部件材料的磨损及腐蚀故障检测及（）变化引起的故障检测。
【参考答案】
振动；噪声；工艺参数
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填空题
振动；噪声；工艺参数
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