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单项选择题
以下哪种不是刻蚀机的关键部件（）？
A.真空泵
B.气体流量计
C.加热装置
D.冷却装置 -
单项选择题
以下哪种材料对刻蚀的选择性较高（）？
A.金属
B.半导体
C.绝缘体
D.有机物 -
单项选择题
以下哪种不是常见的刻蚀方法（）？
A.干法刻蚀
B.湿法刻蚀
C.激光刻蚀
D.声波刻蚀
