问答题
简答题
物理气相沉积（PVD）
【参考答案】
利用电弧、高频电场、等离子体等高温热源将原料加热至高温，使之气化或形成等离子体，然后通过骤冷，使之凝聚成晶须、薄片、晶粒......
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