多项选择题
关于正胶和负胶在显影时的特点，下列说法正确的是（）。
A.负胶的感光区域溶解
B.正胶的感光区域溶解
C.负胶的感光区域不溶解
D.正胶的感光区域不溶解
E.负胶的非感光区域溶解
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多项选择题
光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。
A.树脂
B.感光剂
C.HMDS
D.溶剂
E.PMMA -
单项选择题
用g线和i线进行曝光时通常使用哪种光刻胶（）。
A.ARC
B.HMDS
C.正胶
D.负胶 -
单项选择题
光刻的主要工艺流程按照操作顺序是（）。
A.涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、去胶
B.涂胶、前烘、坚膜、曝光、显影、去胶
C.涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶
D.前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、去胶
