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单项选择题
以下哪种不是刻蚀机的气体供应系统组成部分（）？
A.气瓶
B.减压阀
C.质量流量计
D.搅拌器 -
单项选择题
提高刻蚀机的刻蚀选择性可以通过（）。
A.优化刻蚀气体成分
B.调整刻蚀温度
C.改进掩膜结构
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀机的维护成本主要包括（）。
A.零部件更换
B.能源消耗
C.人工费用
D.以上都是
