问答题
简答题
什么是二极溅射？其工艺参数如何？
【参考答案】
作为阴极的靶材与阳极（壳体）之间形成的气体放电，放电产生的离子流轰击靶材产生溅射，溅射粒子沉积与在阳极同电位或处于悬浮电......
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