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直拉单晶硅工艺学
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填空题
直拉单晶炉拉制单晶过程中，一般用（）做保护气氛。
【参考答案】
氩气
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热偶规管的测量原理是，真空系统对单晶炉抽气，随着炉内（），从热阻丝上带走的热量减少，热电偶温度上升，热电势上升，毫伏表指针在刻度盘上移动，指示出不同的真空度。
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