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多项选择题

区熔法描述正确的是()

    A.悬浮区熔法比直拉法出现晚
    B.区熔法正发展成为单晶硅生产的一种重要方法
    C.区熔法又叫悬浮区熔法、FZ法
    D.区熔法工艺复杂,在硅单晶的生产中不常用

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