相关考题
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单项选择题
提高刻蚀选择性的方法包括（）。
A.优化刻蚀气体配比
B.控制刻蚀温度
C.选择合适的掩膜材料
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀过程中的残余应力会导致（）。
A.器件变形
B.性能下降
C.寿命缩短
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀机的发展趋势是（）。
A.更高精度
B.更高效率
C.更低成本
D.以上都是
