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单项选择题
以下哪种不是刻蚀机的软件功能()?
A.工艺参数设置
B.数据采集与分析
C.设备远程控制
D.图像编辑 -
单项选择题
以下哪种不是刻蚀机的气体供应系统组成部分()?
A.气瓶
B.减压阀
C.质量流量计
D.搅拌器 -
单项选择题
提高刻蚀机的刻蚀选择性可以通过()。
A.优化刻蚀气体成分
B.调整刻蚀温度
C.改进掩膜结构
D.以上都是