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直拉单晶硅工艺学
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填空题
硅单晶各晶面之间的()是不同的,各晶面上的原子密度也不同。
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晶体生长时,()是形成新晶面需要的动力。
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晶体生长时,面间距大的晶面间,原子的吸引力小,新的晶面形成难度()。
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晶体生长时,各晶面的()不同,面密度大的晶面。
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