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多项选择题
PG300RM全自动减薄机不可减薄的晶圆规格有（）。
A.12
B.8
C.6
D.5 -
多项选择题
减薄用的绷膜环有哪几种（）。
A.6寸
B.8寸
C.12寸
D.4寸 -
多项选择题
关于减薄环节绝对禁止的行为，描述正确的有哪些（）。
A.晶圆在料盒（晶舟）中装反装斜
B.晶圆墨点厚度超过30μm
C.操作员可以更改非操作参数
D.打开设备防护罩开机减薄
