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直拉单晶硅工艺学
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填空题
热场主要受()系统影响,该系统变化热场一定变化。
【参考答案】
热
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填空题
单晶硅是在热场中进行拉制的,热场的优劣对()有很大影响。
填空题
单晶炉的热场系统中()是晶体生长时的实际热场,它是在()的基础上补充变化而来。
填空题
动态热场中由于拉晶过程中()下降,使温度分布发生变化。
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