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多项选择题
固态氮化硼扩散与液态硼扩散比较，其有如下的特点（）
A.扩散效率高，更适于大批量生产
B.产品的合格率较高
C.设备复杂、操作麻烦
D.扩散后硅片的均匀性、重复性和表面质量都较好 -
多项选择题
多晶硅绒面制备时采用的酸腐蚀液主要由（）组成。
A.CH3CH2OH
B.HF
C.H2O
D.HNO3 -
多项选择题
多晶硅锭的两种常见生产方法有（）
A.直熔法
B.区熔法
C.直拉法
D.浇铸法
