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单项选择题
以下哪种不是刻蚀机的性能参数（）？
A.刻蚀速率
B.刻蚀深度
C.刻蚀宽度
D.刻蚀颜色 -
单项选择题
刻蚀机的刻蚀深度控制精度通常在（）。
A.纳米级别
B.微米级别
C.毫米级别
D.厘米级别 -
单项选择题
刻蚀机在集成电路制造中的作用是（）。
A.形成电路图形
B.沉积金属层
C.检测电路缺陷
D.封装芯片
