填空题
光学光刻机的主要曝光光线的是波长为（）的g线和（）的i线，适合1微米以上特征尺寸的光刻。常用（）的KrF和（）的ArF准分子激光做1微米以下特征尺寸的光刻光源。
【参考答案】
436nm；365nm；248nm；193nm
点击查看答案
填空题
436nm；365nm；248nm；193nm
微信扫一扫,加关注免费搜题