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单项选择题
设备主进气使用的什么气体。（）
A.N2
B.H2
C.CDA
D.Ar2 -
单项选择题
注液设备有几个浸润工位（）。
A.4个
B.5个
C.6个
D.7个 -
单项选择题
注液设备共有几个一封工位（）。
A.3个
B.4个
C.5个
D.6个
