多项选择题
溅射与蒸镀比较，下列那种说法正确（）
A.蒸镀工艺的普适性更好
B.溅射工艺的普适性更好
C.溅射工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好
D.蒸镀工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好
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多项选择题
从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上（）
A.衬底放在面积大的电极上
B.靶放在面积大的电极上
C.衬底放在面积小的电极上
D.靶放在面积小的电极上 -
单项选择题
为了避免尖楔现象用含1%硅的硅铝合金制备IC内电极，多采用下列哪种工艺方法（）
A.射频溅射
B.LPCVD
C.电阻蒸镀
D.PECVD -
单项选择题
poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的（）
A.PECVD
B.LPCVD
C.APCVD
D.LCVD
