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单项选择题
刻蚀过程中的等离子体密度对刻蚀效果的影响是（）。
A.密度越高，刻蚀速率越快
B.密度越高，刻蚀选择性越好
C.密度越高，刻蚀均匀性越差
D.密度越高，刻蚀损伤越大 -
单项选择题
刻蚀机的真空泵选择主要依据（）。
A.抽气速率
B.极限真空度
C.耐腐蚀性
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀机的定期校准周期通常为（）。
A.每天
B.每周
C.每月
D.每年
