问答题
论述题
影响外延薄膜的生长速度的因素有哪些？
【参考答案】
1）温度高温区B区，生长速率对温度的变化不敏感，生长速率由气相质量输运控制，并且对反应室的几何形状和气流有很大的依赖性。......
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