问答题
简答题
电子束加工、离子束加工和热作用各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？
【参考答案】
三者都是用于精密、微细加工，但电子束。离子束加工须在真空中进行，因此加工表面不会被氧化、污染，特别适合于“洁净”加工，电......
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