相关考题
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多项选择题
LIGA技术主要工艺步骤包括（）。
A.MEMS光刻
B.注模复制
C.X光深度同步辐射光刻
D.电铸制模
E.MEMS蚀刻 -
多项选择题
微机械主要特点有（）。
A.超微机械加工
B.性能稳定，可靠性高
C.能耗低、灵敏度和工作效率高
D.多功能和智能化
E.适用于大批量生产，制造成本低 -
多项选择题
为实现超精密切削，刀具应具有以下性能（）。
A.极高的硬度、耐用度和弹性模量
B.刃口能磨得极其锋锐
C.刀刃无缺陷
D.与工件材料的抗黏结性好，化学亲和性小，摩擦系数低
E.刀口半径值极小
