相关考题
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多项选择题
哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。
A.低温注入
B.常温注入
C.高温注入
D.分子注入
E.双注入 -
多项选择题
下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。
A.注入离子的质量
B.靶的种类
C.注入温度
D.注入速度
E.注入剂量 -
单项选择题
当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。饱和正是对应连续（）的形成。
A.非晶层
B.单晶层
C.多晶层
D.超晶层
