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填空题
热氧化制备SiO
2
的方法可分为四种，包括（）、（）、（）、（）。
【参考答案】
干氧氧化；水蒸汽氧化；湿氧氧化；氢氧合成氧化
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常规的硅材料抛光方式有：（）抛光，（）抛光，（）抛光等。
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