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直拉单晶硅工艺学
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填空题
直拉单晶硅中，除线缺陷、面缺陷，析出和杂质条纹外，在无错单晶中，又发现一种（），它严重影响大规模集成电路性能和成品率。
【参考答案】
旋涡条纹
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