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填空题

生长直拉硅单晶用的多晶硅原料时,()作发热体生长的多晶硅,必须首先用()把钽管和钽硅合金腐蚀干净,再破碎或截段后进行清洁处理,方可作为拉制单晶硅的原料。

    【参考答案】

    钽管;“王水”

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