相关考题
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单项选择题
提高刻蚀均匀性的关键在于（）。
A.优化气体分布
B.稳定温度和压力
C.改进掩膜设计
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀过程中的刻蚀速率不稳定可能是由于（）。
A.刻蚀气体流量波动
B.温度不稳定
C.压力变化
D.以上都是 -
单项选择题
刻蚀机的操作培训重点在于（）。
A.设备原理
B.操作规程
C.安全注意事项
D.以上都是
