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多项选择题
离子注入法具有的特点主要有（）
A.不受固溶度限制
B.精确的剂量控制
C.掺杂深度小
D.均匀性好 -
多项选择题
碱腐蚀法与酸腐蚀法对比，其优点是（）
A.外观平整
B.成本较低
C.光亮度高
D.对环境的污染小 -
多项选择题
硅片表面污染的杂质分类有（）
A.分子型杂质
B.质子型杂质
C.离子型杂质
D.原子型杂质
