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直拉单晶硅工艺学
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填空题
籽晶是生长晶体的种子,也叫晶种,用籽晶引单晶,就是在将结晶的熔体中加入()。
【参考答案】
单晶晶核
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填空题
对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉,石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗,然后进行清洁处理,多晶硅、母合金、籽晶一般用()腐蚀。
填空题
采用母合金作为掺杂剂,主要是为了(),从而达到()的目的。
填空题
常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。杂质浓度一般大于()个原子/cm3(电阻率为10-2~10-3欧姆•厘米)。
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