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薄膜物理与技术
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填空题
热蒸发技术常用的蒸发源有()和()。
【参考答案】
电阻蒸发源;电子枪
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能够直接用来抽大气的真空泵是()。
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一般镀膜系统测量真空需要两个真空计:()真空计和()真空计。
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