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直拉单晶硅工艺学
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填空题
由于（）形成的露头台阶永远存在性，这样的晶面永远不会成为完整的光滑面。
【参考答案】
螺旋位错
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理论上，晶体进行完整光滑界面生长时，台阶就以有限的速率（），最终铺满整个（），台阶消失。
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